此外，哪个属性决定了等离子蚀刻的各向异性借助经压缩空气加速的活性射流可以去除表面散落的、附着性颗粒。改变诸如处理速度和至基材表面的距离之类的工艺参数，会对处理结果造成不同程度的影响。等离子清洗机是作为材料表面的活化处理设备，通过利用活性组分的性质来处理样品表面，从而达到清洁、涂覆等目的，在多个领域中
